Компания РОБВАК предлагает планетарные механизмы вращения подложек для вакуумных напылительных систем. Проектируем и изготавливаем планетарные механизмы вращения согласно требованиям заказчика.

Применение планетарного механизма перемещения подложек в вакуумной напылительной системе позволяет существенно увеличить равномерность напыляемых покрытий. Также перемещение и вращение подложек позволяет более эффективно использовать объем камеры, что увеличивает производительность вакуумной системы.
Установка планетарного механизма в вакуумных напылительных системах позволяет наносить покрытия на изделия с осевой симметрией и изделия сложной формы.

Если типовые планетарные механизмы не удовлетворяют требованиям заказчика, то наши высококвалифицированные инженеры спроектируют и изготовят планетарные механизмы под индивидуальные задачи заказчика.

Типовые планетарные механизмы вращения подложек:
 

1. Возможно закрепление 3 подложек диаметром до 100мм. Вращение вокруг оси изделия (подложки) и оси камеры. Материал: нержавеющая сталь.	2. Возможно закрепление 8 подложек диаметром до 50 мм. Вращение вокруг оси изделия (подложки) и оси камеры. Материал: нержавеющая сталь.