Тел./факс: +7 (495) 966 2814
Вакуумные напылительные установки
Оборудование для вакуумных напылительных установок
Вы здесь: Главная/ Оборудование для вакуумных систем/ Вакуумные камеры/
 

Вакуумные камеры для вакуумных напылительных систем

Компания РОБВАК поставляет вакуумные камеры собственного производства, а также вакуумные камеры, изготавливаемые для нас по нашим чертежам нашими проверенными партнёрами в России, Китае, Тайване и Канаде. Так как мы давно работаем с вакуумными камерами, мы можем однозначно заявить, что нет какого-либо одного производителя, который оптимальным образом (цена, качество, срок производства) может предложить вакуумные камеры для всех приложений, на любой уровень вакуума или вакуумную камеру под любую задачу.
При заказе вакуумной камеры также необходимо понимать, что немного более дорогая вакуумная камера, изготовленная в Канаде, может быть доставлена в Россию за 1 месяц, в то время как вакуумная камера, произведённая на Тайване, доставляется в Россию морем примерно 2.5 месяца (возможна доставка вакуумной камеры самолётом, но это сразу повышает её стоимость на 100-200 тысяч рублей, в зависимости от веса камеры).
Образцы вакуумных камер разных производителей почти всегда есть на нашем складе во Фрязино, поэтому, если у вас есть возможность, перед размещением заказа посетите нас, чтобы увидеть и понять, камеру какого уровня вы получите, выбрав нас своим партнёром по поставке  вакуумной камеры.
Помимо типовых моделей вакуумных камер, описание которых дано в этом разделе, мы также изготавливяем вакуумные камеры различного назначения на заказ в соответствии с требованиями заказчика по чертежам заказчика.

Мы предлагаем широкий спектр вакуумных камер для НИИ, университетов, лабораторий, мелкосерийного производства, вакуумные камеры для организаций, производящих вакуумные системы, вакуумные напылительные системы, вакуумные системы имитации космического пространства и других областей. Все наши вакуумные камеры сделаны из нержавеющей стали марки 08Х18Н10 (по американской классификации – сталь 304).

Преимущества наших вакуумных камер:
- Стандартные и нестандартные (под требования заказчика) размеры камеры
- Прочная конструкция из высококачественных материалов
- Электрополировка внутренней поверхности вакуумной камеры (обязательно) или всей камеры целиком (опционально)
- Большой набор заглушенных фланцев под последующие задачи заказчика, в том числе большого размера
- Водяное охлаждение (дополнительная опция)
- Для производства камер используется только высококачественная нержавеющая сталь
- Привлекательные цены 

Дополнительные опции по требованию заказчика:
- Изготовление рамы для установки вакуумной камеры
- Широкий ассортимент компонентов вакуумных систем. С камерой могут быть поставлены сильфоны из нержавеющей стали,
  кресты, уголки, электрические или механические вакуумные вводы (гермовводы), клапаны или затворы, вакуумные откачные
  средства
- Изготовление вакуумной камеры для специальных приложений по чертежам заказчика
- Установка любого количества дополнительных фланцев, в том числе больших размеров, например CF10” (CF200)) в
  соответствии с требованиями заказчика

Обращаем ваше внимание, что по глубине вакуума вакуумные камеры предназначены для создания низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума. Граница между уровнями достаточно условная, существует много моментов, которые влияюяют на получаемую в вакуумной камере глубину вакуума. Поэтому, перед запросом коммерческого предложения опишите, где вакуумная камера будет применяться, чем откачиваться, до каких температур нагреваться, какие технологические процессы или эксперименты будут в ней проходить. Обращаем ваше внимание, что если вы запрашиваете коммерческое предложение по эскизу вакуумной камеры, то мы для работы с нашими производителям вакуумных камер также используем ваш эксиз. При этом, после предоплаты заказа, нами изготавливается чертёж вакуумной камеры, который будет необходимо подписать перед размещением заказа на производство вакуумной камеры.

Предлагаем вам сразу подумать, на чём будет установлена вакуумная камера. Если у вас нет рамы для её установки, то мы изготавливаем рамы для установки вакуумных камер из нержавеющей стали. Изготавливаемые нами рамы под вакуумные камеры сделаны из полого профиля квадратного сечения (размер профиля определяется весом камеры), рама может иметь регулируемые по высоте ножки или колёса с возможностью регулировки высоты. Вырезанные на лазерном станке панели из полированного листа из нержавеющей стали могут значительно улучшить внешний вид вашей вакуумной системы. Все камеры отвечают самым строгим требования, предъявляемым к вакуумным камерам.

Перед поставкой все вакуумные камеры проходят контроль на гелиевом масс-спектрометрическом течеискателе, промыты в ультразвуковых ваннах, высушены и готовы для установки, если того требудет задача, даже в сверхвысоковакуумных системах. По поводу наличия камер на складе можете оставить запрос на сайте или обратиться к нашим менеджерам.
 

 

СТАНДАРТНЫЕ ВАКУУМНЫЕ КАМЕРЫ, ПОСТАВЛЯЕМЫЕ КОМПАНИЕЙ РОБВАК.
Классификация вакуумных камер – достаточно непростое дело, потому что в некоторых случаях важна форма, в других – глубина вакуума, в третьих – специфика использования вакуумной камеры. Поэтому, не претендуя на научность, а исходя исключительно из практических соображений и предлагаемого нами ряда, мы разделили поставляемые нами вакуумные камеры по следующим типам:

ВАКУУМНАЯ КАМЕРА D - ОБРАЗНОЙ ФОРМЫ
Вакуумная камера имеет горизонтальное поперечное сечение D формы. Вакуумная камеры имеет плоскую дверь с вакуумным уплотнителем (резиновая прокладка круглого сечения). Обычно вакуумные камеры D-формы применяются в вакуумных напылительных системах.
Внутренние размеры стандартных вакуумных камер D-формы, которая поставляет компания РОБВАК:
(ширина х высота) 40x60 см, 40x70 см, 60х70 см, 80х70 см, 80х110 см.
Подробнее: вакуумная камера D - образной формы

ЦИЛИНДРИЧЕСКИЕ ГОРИЗОНТАЛЬНЫЕ ВАКУУМНЫЕ КАМЕРЫ
Стандартная цилиндрическая вакуумная камера выполнена в форме цилиндра с круглой дверью с одной стороны и заваренным торцом с другой стороны. Количество и расположение фланцев и смотровых окон согласовывается с заказчиком. Преимуществом цилиндрических вакуумных камер является минимальное количество сварных швов, высокая жёсткость вакуумной камеры. Изготовление цилиндрических камер проще, по сравнению с вакуумными камерами других форм, что положительно отражается на их стоимости: из всех вакуумных камер цилиндрические вакуумные камеры – самые дешёвые. Подробнее: цилиндрические горизонтальные вакуумные камеры

Сферические вакуумные камеры
Сферическая вакуумная камера как правило изготавливается для оптических приложений и является самой дорогой из всех типов вакуумных камер. Особое внимание в сферических камерах уделяется точности направления осей привариваемых фланцев. Работая напрямую с ведущим производителем северной Америки по изготовлению вакуумных камер для научных приложений, изготавливающим вакуумные камеры для таких известных брэндов как Курт Лескер, мы предлагаем на российский рынок сферические вакуумные камеры высочайшего класса. Учитывая специфику применения сферических вакуумных камер, мы не предлагаем стандартную линейку таких вакуумных камер, а изготавливаем их по чертежам (эскизам) заказчиков.

Кубические вакуумные камеры
Кубические вакуумные камеры серии для высоковакуумных приложений имеют конкурентоспособную цену, предпочтительны во многих приложениях за счёт возможности более удобного расположения обрабатываемых деталей или материалов внутри кубического пространства. Удобство загрузки обеспечивается фронтальной дверью, при открытии которой обеспечивается доступ ко всему объёму вакуумной камеры. Выполнены из нержавеющей стали. Предназначены для создания вакуума порядка 10-7 ... 10-8 торр.
Опционно изготовим полочки из нержавеющей стали для размещения деталей внутри камеры.

Высоковакуумные камеры для научного применения
Высоковакуумные камеры для научных исследований, к которым предъявляются жесткие требования по соосности, перпендикулярности, угловому расположению фланцев, изготавливаются в Канаде и отвечают самым жёстким требованиям, предъявляемым к вакуумным камерам.

Вакуумные камеры для имитации космического пространства
Особое место среди поставляемых нами камер занимают вакуумные камеры для имитации космического пространства. Фланцы стандарта ConFlat и установленные внутри вакуумной камеры экраны из электрополированных листов нержавеющей стали позволяют проводить нагрев или охлаждение внутри рабочего пространства вакуумной камеры с большим изменением температуры. Используемые водоохлаждаемые вводы вращения, электрические вакуумные вводы на основе керамических изоляторов (опционно – с водяным охлаждением), фланцы большого диаметра для подсоединения высокопроизводительных средств высоковакуумной откачки, криопанели и кварцевые лампы для нагрева, безмаслянные средства откачки и сверхвысоковакуумные затворы – всё подобрано таким образом, чтобы обеспечить сверхглубокий вакуум внутри вакуумной камеры с возможностью изменения различных параметров внутри вакуумной камеры (температура, перемещение, и т.д.).

Сверхвысоковакуумные камеры для получения давления порядка 10-9...10-11 торр (горизонтальные и кубические)
Сверхвысоковакуумные камеры разработаны для создания в них вакуума ниже 10-9 торр (мм. рт. ст.). Используются в приложениях, предъявляющих высокие требования по чистоте и глубине вакуума. Вакуумные камеры данной серии изготовлены из нержавеющей стали и имеют металлическое уплотнение двери. Для данной камеры используются фланцы дополнительных портов только стандарта СonFlat. Сверхвысокий вакуум предъявляет много требований к производству сверхвысоковакуумных камер, поэтому их срок производства составляет обычно не менее 5 месяцев.

 

Компоненты вакуумных систем и вакуумное оборудование
При необходимости вакуумная камера может быть поставлена с необходимыми компонентами для создания вакуумных систем: насосы, вакуумметры, вводы вращения, арматуру, регуляторы расхода газа, вакуумная арматура, клапаны и другое вакуумное оборудование для создания вакуумных систем.