Тел./факс: +7 (495) 966 2814

Вакуумные напылительные установки
Оборудование для вакуумных напылительных установок
Вы здесь: Главная/ Вакуумные напылительные системы/
 

ОБЗОР ПРОИЗВОДИМЫХ НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ УСТАНОВОК.

Работа планарных круглых магнетронов со сбалансированной магнитной системе в вакуумной напылительной установке VSM

Компания РОБВАК производит как серийно-изготавливаемые вакуумные напылительные установки, так и установки, спроектированные по техническому заданию заказчика. 
Наши вакуумные напылительные системы имеют полностью автоматическое управление, но могут также поставляться с кнопочным или полуавтоматическим управлением.
Часть вакуумных напылительных систем (кластерные, поточные, для рулонных материалов) мы изготавливаем при сотрудничестве с корейским партнёром.
Особое место в линейке поставляемых нами вакуумных напылительных установок занимают установки для специальных приложений: напыление на ситаловые подложки, оптические фильтра и зеркала, стоматология.

Все вакуумные напылительные установки компании РОБВАК обладают высочайшей надёжностью. Надёжность – это главное, о чём мы думаем при проектировании наших систем. В качестве некоторых наиболее важных узлов мы используем надёжные импортные комплектующие (вакуумметрия, средства откачки, частично по согласованию с заказчиком - блоки питания).
Работа планарных протяженных магнетронов со сбалансированной магнитной системе в вакуумной напылительной установке ZENIT  Высочайшая надежность вакуумных напылительных систем позволяет использовать их в промышленности для серийного производства, при этом напылительные установки способны бесперебойно работать в режиме 24/7. 
Вакуумные камеры и стандартное оборудование (магнетроны, блоки питания, насосы, вакуумметрия, регуляторы расхода газа и т.д.) для наших серийных систем мы имеем на складе, что уменьшает срок их сборки по сравнению с конкурентами.

 

Мы производим вакуумные напылительные системы следующих серий:

  • Лабораторные вакуумные напылительные установки серии SMARTLAB
  • Вакуумные напылительные установки серии VS (VSM – магнетронные, VSR – резистивные, VSE – электронно-лучевые,) для НИОКР, мелко- и среднесерийного производства.
  • Вакуумные напылительные установки серии VACLEADER с напылительными узлами разных типов
  • Промышленные магнетронные напылительные системы ZENIT с протяженными магнетронами (напыление: упрочняющих покрытий, на ситаловые подложки, серийное напыление на большие изделия или на большое количество изделий)
  • Промышленные дуговые напылительные системы BIG-ARC
  • Вакуумные напылительные системы CORAS для оптических покрытий
  • Вакуумные дуговые системы STOM для напыления в стоматологии
  • Вакуумные системы ионно-лучевого напыления IB-COATER
  • Кластерные вакуумные напылительные системы CLUSTER-VAC
  • Поточные вакуумные напылительные установки MAG-LINE
  • Вакуумные напылительные установки для напыления на рулонные материалы MAG-ROLL

 

Ниже приведены две таблицы. Первая – магнетронные системы напыления. Вторая – остальные (не магнетронные) методы.
Кластерная система и система VACLEADER могут комплектоваться произвольным источниками напыления, поэтому в таблице не представлены.
Сокращения в таблице: НИР – научно-исследовательские работы; ТМН – турбомолекулярный насос; для кубических камер указан один размер; для камер D-фомры первая цифра обозначает поперечный размер, вторая цифра- высоту;

 

Магнетронные напылительные системы.

SMARTLAB-M

VSM

ZENIT

MAG-ROLL

MAG-LINE

Область применения

НИР и лаборатории

НИР и мелкосерийные работы

Машиностроение и приборостроение

Напыление на рулонные материалы

Напыление на листовые материалы

Камера

D-формы

D-формы

D-формы

Зависит от ТЗ

Несколько камер

Размеры камеры

230х350
или 350х450

400х600

До 900х900 и более (опционально)

От 3 до 7 метров в длину

1 куб.м. и более (опционально)

Источники напыления

SmartLab-M1
 (1 магнетрон)

SmartLab-M2
 (2 магнетрона)

Магнетроны
(от 1 до 3 шт.)

Магнетроны (круглые или протяженные)

Протяженные магнетроны

Протяженные магнетроны

Высоко-
вакуумный насос

ТМН

ТМН

ТМН

ТМН

ТМН

Форвакуумный насос

Пластинчато-роторный или спиральный

Пластинчато-роторный или спиральный

Пластинчато-роторный, винтовой или спиральный

Пластинчато-роторный, винтовой или спиральный

Пластинчато-роторный, винтовой или спиральный

Система управления

Ручная или полуавтоматическая

Полуавтоматическая или автоматическая

Полуавтоматическая или автоматическая

Автоматическая

Автоматическая

 

Электронно-лучевые, ионно-лучевые, резистивные и дуговые системы вакуумного напыления

 

SMARTLAB-R

VSE

VSR

IB-COATER

CORAS

BIG-ARC

STOM

Область применения

НИР

НИР и мелкосерийные работы

НИР и мелкосерийные работы

НИР

Оптические покрытия

Машиностроение

Стоматология

Камера

D-формы

D-формы

D-формы

Кубическая камера

Кубическая или  D-формы

Кубическая

Кубическая камера

Размеры камеры

230х350
или 350х450

400х600

400х600

600

700х700
 и более

700

500

Источники напыления

SmartLab-R1
 (1 резистивный)

SmartLab-R2
 (2 резистивных)

Электронно-лучевой
(1 шт)

резистивные
(от 1 до 3 шт.)

Ионно-лучевой
(1 шт)

Электронно-лучевые
(1 или 2)

Дуговые источники

Дуговой
(1 шт)

Высоко-
вакуумный насос

Турбомолекулярный

ТМН

ТМН

ТМН

ТМН или криовакуумный

ТМН

ТМН

Форвакуумный насос

Пластинчато-роторный или спиральный

Пластинчато-роторный или спиральный

Пластинчато-роторный или спиральный

Спиральный

Пластинчато-роторный, винтовой или спиральный

Пластинчато-роторный
или винтовой

Пластинчато-роторный

Система управления

Ручная или полу-автоматическая

Полуавтомати-ческая или автоматическая

Полуавтомати-ческая или автоматическая

Полуавтома-тическая

Автоматическая

Полуавтома-тическая или автоматическая

Полуавтома-тическая

 

Краткое описание вакуумных напылительных систем

Установка напыления оптических покрытий CORAS, производство РОБВАК, Россия Современная вакуумная напылительная система для электронно-лучевого напыления, собранная из комплектующих ведущих производителей, с полностью автоматической системой контроля, предназначенная для вакуумного напыления в оптических приложениях: оптических фильтров, оптических зеркал, линз и т.д. Вакуумная напылительная система CORAS позволяет проводить вакуумное напыление тонких плёнок высокого качества, вакуумное напыление сопровождается ионным ассистированием низкоэнергетичными ионами.

Современная вакуумная напылительная система для электронно-лучевого напыления, собранная из комплектующих ведущих производителей, с полностью автоматической системой контроля, предназначенная для вакуумного напыления в оптических приложениях: оптических фильтров, оптических зеркал, линз и т.д. Вакуумная напылительная система CORAS позволяет проводить вакуумное напыление тонких плёнок высокого качества, вакуумное напыление сопровождается ионным ассистированием низкоэнергетичными ионами.

Подробное описание вакуумной установки для нанесения оптических покрытий CORAS

 

Вакуумная напылительная установка ZENIT с протяженными магнетронами или дуговыми источниками, производство РОБВАК, Россия
Вакуумная установка ZENIT является вакуумной напылительной установкой с вертикальными планарными протяженными магнетронами или вертикально по линии установленными дуговыми источниками, и серийно выпускается в двух вариантах: с вакуумными камерами размером 80х70 см (ZENIT-70) и 80х110 см (ZENIT-110), возможно изготовление камеры под задачи заказчика. Магнетронное распыление может осуществляться поочерёдно с нескольких магнетронов или одновременно с двух-трёх магнетронов. Предварительная ионная очистка обрабатываемых деталей.

Вакуумная установка ZENIT является вакуумной напылительной установкой с вертикальными планарными протяженными магнетронами или вертикально по линии установленными дуговыми источниками, и серийно выпускается в двух вариантах: с вакуумными камерами размером 80х70 см (ZENIT-70) и 80х110 см (ZENIT-110), возможно изготовление камеры под задачи заказчика. Магнетронное распыление может осуществляться поочерёдно с нескольких магнетронов или одновременно с двух-трёх магнетронов. Предварительная ионная очистка обрабатываемых деталей.
Подробное описание вакуумной магнетронной напылительной установки ZENIT

 

Вакуумная напылительная установка VACLEADER, производство РОБВАК, Россия
Является универсальной вакуумной напылительной установкой с возможностью модификации и изменения функционала под требования пользователя. На данном типе оборудования возможна реализация магнетронного распыления, термического испарения, испарения электронным лучом, ионно-лучевое испарение, источники для напыления OLED.

Является универсальной вакуумной напылительной установкой с возможностью модификации и изменения функционала под требования пользователя. На данном типе оборудования возможна реализация магнетронного распыления, термического испарения, испарения электронным лучом, ионно-лучевое испарение, источники для напыления OLED.

Подробное описание вакуумной напылительной установки VACLEADER
 

 

 


Вакуумная установка VS производства российской компании РОБВАК является универсальной напылительной установкой с возможностью частичной модификации и изменения функционала под требования пользователя. Вакуумная напылительная система VS, производство РОБВАК, Россия

Вакуумная установка VS производства российской компании РОБВАК является универсальной напылительной установкой с возможностью частичной модификации и изменения функционала под требования пользователя.
На данном типе оборудования возможна реализация магнетронного распыления с одного или нескольких магнетронов, резистивного, электронно-лучевого. Учитывая, что система создавалось для НИОКР, существует большой набор опций, позволяющий расширить возможности базовой комплектации.

Подробное описание вакуумной магнетронной напылительной системы VS


Лабораторная вакуумная напылительная установка SmartLab, производство РОБВАК, Россия

Недорогая вакуумная магнетронная напылительная установка SMARTLAB-M с одним или двумя магнетронами (распыляемые мишени магнетронов диаметром 50 или 75 мм) или резистивными источниками, производимая нашей компанией, является оптимальным выбором для университетской лаборатории. Использование проверенных узлов импортных и отечественных производителей, а также узлов собственного производства – всё это является залогом надёжного функционирования напылительной установки при её недорогой цене. Напылительная установка компактна, легка в работе и обслуживании.
Подробное описание лабораторной установки вакуумного магнетронного напыления SMARTLAB

 

Вакуумная дуговая напылительная система STOM для стоматологии, производство РОБВАК, Россия
Недорогая дуговая вакуумная напылительная установка STOM с одним дуговым источником. Качественное напыление из нитрида титана обеспечивается безмаслянной высоковакумной откачкой, а также использованием проверенных узлов импортных производителей и узлов собственного производства. Всё это является залогом надёжного функционирования дуговой напылительной установки STOM при её недорогой цене. Напылительная установка компактна, легка в работе и обслуживании.

Недорогая дуговая вакуумная напылительная установка STOM с одним дуговым источником. Качественное напыление из нитрида титана обеспечивается безмаслянной высоковакумной откачкой, а также использованием проверенных узлов импортных производителей и узлов собственного производства. Всё это является залогом надёжного функционирования дуговой напылительной установки STOM при её недорогой цене. Напылительная установка компактна, легка в работе и обслуживании.
Подробное описание вакуумной дуговой напылительной системы STOM для стоматологии



Напыление на рулоны. Вакуумная напылительная установка рулонного напыления Roll300, производство РОБВАК, Россия-Корея Компания РОБВАК представляет на рынок тонкопленочных технологий машину рулонного напыления Roll300 – оптимальный по цене и качеству выбор для производств пленочно-фольгированных изделий.
Компания РОБВАК представляет на рынок тонкопленочных технологий машину рулонного напыления Roll300 – оптимальный по цене и качеству выбор для производств пленочно-фольгированных изделий.

Подробное техническое описание вакуумной напылительной установки рулонного напыления Roll300

 

Напылительные Inline-системы (шлюзовые системы линейной структуры) , производство РОБВАК, Россия-Корея Напылительные Inline-системы (шлюзовые системы линейной структуры) , производство РОБВАК, Россия-Корея

Вакуумные напылительные inline-системы или шлюзовые системы линейной структуры наилучшее решение для напыления на протяженные плоские изделия (будь то металлические листы или стекло). Оптические покрытия, износостойкие, декоративные, модификация поверхности – все зависит от закладываемой технологии, но все без исключения может быть реализовано на системе Inline LAD. Это современная, высокопроизводительная шлюзовая система с линейной компоновкой является идеальным выбором для подложек среднего размера.

Подробное техническое описание вакуумной напылительной Inline-системы
 

Вакуумные напылительные системы кластерного типа , производство РОБВАК, Россия-Корея Вакуумные напылительные системы кластерного типа , производство РОБВАК, Россия-Корея

Кластерные системы – отдельный подвид шлюзовых машин напыления, когда различные технологические подзадачи можно разнести в разные вакуумные камеры, объединенные центральным шлюзом с манипулятором, который, в зависимости от реализуемого технологического процесса, перемещает подложки для обработки между камерами.

Подробное техническое описание вакуумной напылительной системы кластерного типа