Тел./факс: +7 (495) 966 2814
Вакуумные напылительные установки
Оборудование для вакуумных напылительных установок
Вы здесь: Главная/ Оборудование для вакуумных систем/ Вакуумные камеры/ Вакуумная камера D - образной формы/
 

Вакуумная камера D - образной формы

Вакуумная камера имеет горизонтальное поперечное сечение D формы. Вакуумная камеры имеет плоскую дверь с вакуумным уплотнителем (резиновая прокладка круглого сечения). Обычно вакуумные камеры D-формы применяются в вакуумных напылительных системах. Внутренние размеры стандартных вакуумных камер D-формы, которые поставляет компания РОБВАК: (ширина х высота) 40x60 см, 40x70 см, 60х70 см, 80х70 см, 90х100 см, 120х120 см.

Типовая вакуумная камера D - образной формы изготавливается без водяного охлаждения. По согласованию с заказчиком камера может быть изготовлена с каналами для водяного охлаждения. Водоохлаждающие каналы расположены на двери и боковой стенке вакуумной камеры, опционно – на внешней и нижней крышке вакуумной камеры.

Технические характеристики
Уровень вакуума до порядка 10-8 Торр (мм.рт.ст) при использовании соответствующих средств для вакууммирования.
Количество смотровых окон: 1 или 2 на фланце ISO100 (в зависимости от размера камеры).
Конструкцией предусмотрена заслонка окна во избежание загрязнения.
Материал корпуса и двери вакуумной камеры: высококачественная нержавеющая сталь 8Х18Н10 (Сталь 304 согласно американскому стандарту NIST).

Преимуществом вакуумной камеры D-формы по сравнению с кубической вакуумной камерой является уменьшение количества сварных швов и увеличение жёсткости боковых стенок при одинаковой их толщине (так как цилиндр имеет большую жесткость по сравнению с кубом такого же размера).


На боковой стенке сзади приварены фланцы соответствующих размеров для подсоединения высоковакуумного насоса.

Таблица.  Размеры камер с соответствующими вварными фланцами.

Вакуумная камера (ширина x высота), см Фланец высоковакуумной откачки
40 х 60 ConFlat 8” (CF160)
40 x 70 ISO250
60 x 70 ISO250 и CF8” (CF160)
80 x 70 ISO250 и CF160
100 x 100  (ISO320 и ISO250) или 2 x ISO250
120 x 120 ISO320 и 2 x ISO250


Вакуумные камеры могут иметь другие приваренные фланцы для высоковакуумной откачки, которые могут быть заданы заказчиком. Указаны фланцы вакуумных камер, которые мы заказываем на склад, т.е. данные вакуумные камеры мы стараемся поддерживать на нашей площадке во Фрязино, или их время поставки меньше по сравнению с камерами, в которые вносятся изменения заказчиком. При изменении конструкции наших стандартных камер их срок производства и стоимость увеличиваются, так как требуется время на согласование чертежей с производителем и перенастройка станков с ЧПУ, на которых изготавливаются вакуумные камеры.

Вакуумная камера D-формы имеет несколько запасных заглушенных фланцев, что позволит в дальнейшем провести её модернизацию или установить дополнительное научное или вакуумное оборудование. В зависимости от размеров вакуумной камеры, вакуумная камера всегда имеет минимум 6 заглушенных фланца CF2.75 (CF40), а вакуумные камеры с поперечным размером 60 см и более - фланцы CF6” (CF100), CF8” (CF160) на боковой поверхности.

Дно вакуумной камеры имеет отверстия 25,4 мм (1 дюйм) и 32,5 мм.

Верх вакуумной камеры D-формы имеет приваренный в центре верхней крышки фланец ConFlat 8” (CF160), фланцы CF2.75” (CF40, обычно один фланец приварен внутрь камеры), для камер с поперечным размером 60 см и более – фланец стандарта ConFlat размера CF100.

Вакуумные камеры имеют ножки, которые имеют отверстия, чтобы с помощью болтов прикреплять вакуумную камеру к раме.

 Электрополировка внутренней поверхности вакуумной камеры значительно уменьшает скорость откачки в диапазоне глубокого вакуума.

Мы поставляем вакуумные камеры D-формы без водяного охлаждения производства Китай, данные камеры имеют только внутреннюю электрополировку, или же вакуумные камеры с электрополировкой всех поверхностей (включая внешнюю) и с водяным охлаждением производства Тайвань. Ознакомиться с примерами вакуумных камер D-формы китайского и тайваньского производства можно на нашей площадке во Фрязино. При отсутствии вакуумных камер на складе, их срок поставки составляет 4-5 месяцев для производящхся в Китае и 5-7 месяцев для производящихся на Тайване. Срок поставки может быть сокращён на 2 месяца, если заказчик согласен дополнительно оплатить доставку вакуумной камеры самолётом.

 

Мы изготавливаем рамы из нержавеющей стали под вакуумные камеры, а также поставляем вакуумные компоненты и иное вакуумное оборудование, необходимое для создания вашей вакуумной системы.