Тел./факс: +7 (495) 966 2814
Вакуумные напылительные установки
Оборудование для вакуумных напылительных установок
- Установка резистивного напыления SMARTLAB-R
- Установка магнетронного напыления SMARTLAB-M
- Вакуумные напылительная системы VSM, VSR, VSEB
- Система с вертикальными магнетронами ZENIT
- Напылительная система с дуговыми источниками BIG-ARC
- Вакуумная напылительная установка VACLEADER
Вакумные напылительные системы кластерного типа - Кластерные системы.
Вакуумная система кластерного типа Cluster M предназначена для напыления магнетронным методом металлов, керамики, оптических покрытий, может быть скомпонована как од задачи R&D, так и под серийный выпуск продукции.
Особенности вакуумной напылительной системы кластерного типа:
• Система имеет две рабочие вакуумные камеры, шлюзовой отсек и один перчаточный бокс для загрузки/выгрузки изделий из шлюза
• Роботизированный манипулятор позволяет автоматически и сверхточно осуществлять перемещение образцов между камерами
• Система держателей образцов кассетного типа
• Вакуумная напылительная кластерная установка поставляется с тремя наклоняемыми 8 дюймовыми магнетронами, каждая камера имеет дополнительные порты для интеграции напылительных модулей
• Возможность реализации процессов как со-осаждения, так и последовательной обработки
• Полная автоматизация технологического процесса
• Возможность комплектации прецизионной лазерной системой маскирования
• Обеспечивается максимально равномерный прогрев в размерах 200х200 мм, что особенно актуально для стеклянных подложек
Технические характеристики кластерной системы:
• Емкость кассеты: 5 изделий диаметром 200 мм
• Общий габарит системы: длинаxвысотаxширина: 3,5м x 2,4м x 3,3м
• Блоки питания источников напыления: ВЧ 3 кВт в кол-ве 2 шт.,источники постоянного тока (DC) 5 кВт в кол-ве 3 шт.
• Максимальный нагрев до 600 градусов Цельсия (SiC – нагреватель)
• Подача газов и смесей: Ar, N2, O2, H2, C2H2
• Откачная система
• Высоковакуумный турбомолекулярный насос (ТМН) 400 л/с и пластинчато-роторный 1000 л/мин для шлюзового модуля
• Высоковакуумный турбомолекулярный насос (ТМН) 2400 л/с и спиральный насос 1900 л/мин для рабочих камер
Ниже приведены данные по тестовым испытаниям образца 200х200 мм в вакуумной кластерной установке на предмет равномерности нанесенного покрытия на различных магнетронных ячейках кластерной системы:
Таблица. SiO2 (толщина)
Катод | Точки измерения / нм | Среднее значение | Равномерность | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
№1 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 103 | ±1.94% |
102 | 106 | 102 | 103 | 102 |
Таблица. Al2O2 (толщина)
Катод | Точки измерения / нм | Среднее значение | Равномерность | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
№2, №3 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 104.2 | ±0.96% |
105 | 105 | 103 | 103 | 102 |
Таблица. Al (толщина)
Катод | Точки измерения / нм | Среднее значение | Равномерность | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
№4 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 151.4 | ±1.65% |
152 | 150 | 150 | 150 | 155 |
Таблица. ITO (толщина)
Катод | Точки измерения / нм | Среднее значение | Равномерность | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
№5 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 140.2 | ±0.67% |
140 | 139.4 | 140.7 | 140.7 | 140.8 |
По всем дополнительным техническим вопросам, пожалуйста, обращайтесь в компанию РОБВАК. Наши высоквалифицированные специалисты проконсультируют вас и предложат самые лучшие решения для вашиx конкретных задач.
Обзор вакуумных напылительных систем
Установка резистивного напыления SMARTLAB-R
Установка магнетронного напыления SMARTLAB-M
Вакуумные напылительная системы VSM, VSR, VSEB
Система с вертикальными магнетронами ZENIT
Напылительная система с дуговыми источниками BIG-ARC
Вакуумная напылительная установка VACLEADER
Дуговая напылительная система для стоматологии
Установка напыления оптических покрытий CORAS
Ионно-лучевая напылительная система IB_COATER
Напылительная система на рулонные материалы