Тел./факс: +7 (495) 966 2814
Вакуумные напылительные установки
Оборудование для вакуумных напылительных установок
Вы здесь: Главная/ Вакуумные напылительные системы/ Лабораторная установка резистивного напыления SMARTLAB-R

Вакуумная установка резистивного напыления SMARTLAB-R

Напылительная система SMARTLAB-R выпускается в двух спецификациях – SMARTLAB-R1 с одним резистивным источником испарения на базе камеры размером 23х35 см и SMARTLAB-R2 с двумя резистивными источниками на базе вакуумной камеры размером 35x45 см.

 

  • Спецификация SMARTLAB-R1
  • Спецификация SMARTLAB-R2

Лабораторная вакуумная система резистивного напыления SMARTLAB-R1, базовая конфигурация:Вакуумная резистивная  напылительная система SmartLab-R1. РОБВАК (Россия)

    • Вакуумная камера
  • размер вакуумной камеры 23х35 см
    D-форма (в горизонтальном разрезе)
    фронтальная дверь с вакуумным окном
    нержавеющая полированная сталь
    Установлена на раме из нержавеющей стали
  • • Резистивный источник – 1 шт
  • Водоохлаждаемые электрические вводы для резистиного испарителя.
       Опция:
    резистивные лодочки разного размера и формы, согласуются с заказчиком
  • • Блок питания резистивного испарителя – 1 шт
  • Блок питания для подачи тока до 100 А
  • • Откачная система
  • Турбомолекулярный насос (Германия)
    Пластинчато-роторный насос (Канада)
       Опция: спиральный насос
  •  • Дополнительное оборудование
  • Вращаемый столик диаметром 15 см, 20 об/мин
       Опция: планетарный механизм на 3 планеты по 7 см
    Широкодиапазонный вакуумметр, 1 атм - 1х10-9 торр
    Нагрев кварцевой лампой до 200С
      Опция: нагрев ТЭНом из нержавеющей стали (позволяет нагревать во время напыления)
      Опция: нагрев до 200-250С (водоохлаждаемая вакуумная камера)                 
  •   Опция: Регулятор расхода газа, 100 ст.куб.см/мин, 1 или 2 шт                 
  •   Опция: Измерение толщины напыляемого слоя с помощью кварцевого датчика (кварцевые микровесы)
  • • Система управления
  • Кнопочная (ручное включение всех узлов с помощью кнопок на передней панели)
       Опция: полуавтоматическое управление (автоматическая откачка, ручное напыление)
       Опция:
    полностью автоматическое управление.

 

Описание системы SMARTLAB-R1
Недорогая вакуумная термическая резистивная напылительная установка SMARTLAB-R1 с одним резистивным источником, производимая нашей компанией, является оптимальным выбором для университетской лаборатории. Использование проверенных узлов импортных и отечественных производителей, а также узлов собственного производства – всё это является залогом надёжного функционирования напылительной установки. При проектировании вакуумной термической резистивной напылительной установки SMARTLAB-R1 нами ставилась задача создать максимально надёжную систему, которая может быть доступна университетским лабораториям при ограниченности бюджетных средств. Вакуумное напыление производится снизу вверх (подложкодержатель установлен в верхней части вакуумной камеры, резистивный источник (лодочка с испаряемым метериалом) – снизу, на дне камеры. Поставляемый в базовой комплектации блок питания, подающий ток до 100 А, позволяет проводить испарение многих материлов из молибденовых или вольфрамовых лодочек. Всё оборудование находится внутри стойки управления, что позволяет легко и удобно расположить данную бюджетную вакуумную резистивную напылительную систему в любом месте лаборатории. В полностью автоматической версии управление системы происходит с помощью промышленного компьютера и сенсорного дисплея, установленного на раме. В этом случае процесс вакуумной откачки, нагрева, напыления и вентилирования камеры после окончания вакуумного напыления осуществляется после нажатия оператором одной кнопки. Рама системы установлена на колёсных опорах (колесо с установленной рядом регулируемой по высоте опорой), что позволит легко переставить данную вакуумной напылительную систему в другое место лаборатории.

Лабораторная вакуумная система резистивного напыления SMARTLAB-R2, базовая конфигурация:

    • Вакуумная камера
  • размер вакуумной камеры 23х35 смВакуумная резистивная  напылительная система SmartLab-R2. РОБВАК (Россия)
    D-форма (в горизонтальном разрезе)
    фронтальная дверь с вакуумным окном
    нержавеющая полированная сталь
    Установлена на раме из нержавеющей стали
  • • Резистивный источник – 2 шт
  • Водоохлаждаемые электрические вводы для резистиного испарителя.
      Опция:
    резистивные лодочки разного размера и формы, согласуются с заказчиком
       Опция:
    пневматические заслонки над лодочками
  • • Блок питания резистивного испарителя – 1 шт
  • Блок питания для подачи тока до 100 А
      Опция:
    2 блока питания для одновременного напыления с двух источников
  • • Откачная система
  • Турбомолекулярный насос (Германия)
    Пластинчато-роторный насос (Канада)
       Опция: спиральный насос
  •  • Дополнительное оборудование
  • Вращаемый столик диаметром 15 см, 20 об/мин
       Опция: планетарный механизм на 3 планеты по 7 см
    Широкодиапазонный вакуумметр, 1 атм - 1х10-9 торр
    Нагрев кварцевой лампой до 200С
      Опция: нагрев ТЭНом из нержавеющей стали (позволяет нагревать во время напыления)
      Опция: нагрев до 200-250С (водоохлаждаемая вакуумная камера)                 
  •   Опция: Регулятор расхода газа, 100 ст.куб.см/мин, 1 или 2 шт                 
  •   Опция: Измерение толщины напыляемого слоя с помощью кварцевого датчика (кварцевые микровесы)
  • • Система управления
  • Кнопочная (ручное включение всех узлов с помощью кнопок на передней панели)
       Опция: полуавтоматическое управление (автоматическая откачка, ручное напыление)
       Опция:
    полностью автоматическое управление.

 

Описание системы SMARTLAB-R2

Недорогая вакуумная термическая резистивная напылительная установка SMARTLAB-R2 с двумя резистивными источниками, производимая нашей компанией, является оптимальным выбором для университетской лаборатории. Использование проверенных узлов импортных и отечественных производителей, а также узлов собственного производства – всё это является залогом надёжного функционирования напылительной установки. При проектировании вакуумной термической резистивной напылительной установки SMARTLAB-R2 нами ставилась задача создать максимально надёжную систему, которая может быть доступна университетским лабораториям при ограниченности бюджетных средств. Вакуумное напыление производится снизу вверх (подложкодержатель установлен в верхней части вакуумной камеры, резистивные источники (лодочки с испаряемым метериалом) – внизу, на дне камеры. Поставляемый в базовой комплектации блок питания, подающий ток до 100 А, позволяет проводить испарение многих материлов из молибденовых или вольфрамовых лодочек. Для получения напыленной плёнки регулируемого стехиометрического состава используется одновременное напыление с двух резистивных источников (при выборе опции: 2 блока питания). Всё оборудование находится внутри стойки управления, что позволяет легко и удобно расположить данную бюджетную вакуумную резистивную напылительную систему в любом месте лаборатории. В полностью автоматической версии управление напылительной системы происходит с помощью промышленного компьютера и сенсорного дисплея, установленного на раме. В этом случае процесс вакуумной откачки, нагрева, напыления и вентилирования камеры после окончания вакуумного напыления осуществляется после нажатия оператором одной кнопки. Рама системы установлена на колёсных опорах (колесо с установленной рядом регулируемой по высоте опорой), что позволит легко переставить данную вакуумной напылительную систему в другое место лаборатории.