Лабораторная вакуумная система резистивного напыления SMARTLAB-R2, базовая конфигурация:

• Вакуумная камера
• размер вакуумной камеры 23х35 см
  D-форма (в горизонтальном разрезе)
  фронтальная дверь с вакуумным окном
  нержавеющая полированная сталь
  Установлена на раме из нержавеющей стали
• • Резистивный источник – 2 шт
• Водоохлаждаемые электрические вводы для резистиного испарителя.
    Опция: резистивные лодочки разного размера и формы, согласуются с заказчиком
     Опция: пневматические заслонки над лодочками
• Блок питания резистивного испарителя – 1 шт
• Блок питания для подачи тока до 100 А
    Опция: 2 блока питания для одновременного напыления с двух источников
• Откачная система
• Турбомолекулярный насос (Германия)
  Пластинчато-роторный насос (Канада)
     Опция: спиральный насос
  
 • Дополнительное оборудование
• Вращаемый столик диаметром 15 см, 20 об/мин
     Опция: планетарный механизм на 3 планеты по 7 см
  Широкодиапазонный вакуумметр, 1 атм - 1х10^-9 торр
  Нагрев кварцевой лампой до 200С
    Опция: нагрев ТЭНом из нержавеющей стали (позволяет нагревать во время напыления)
    Опция: нагрев до 200-250С (водоохлаждаемая вакуумная камера)                 
•   Опция: Регулятор расхода газа, 100 ст.куб.см/мин, 1 или 2 шт                 
•   Опция: Измерение толщины напыляемого слоя с помощью кварцевого датчика (кварцевые микровесы)
• Система управления
• Кнопочная (ручное включение всех узлов с помощью кнопок на передней панели)
     Опция: полуавтоматическое управление (автоматическая откачка, ручное напыление)
     Опция: полностью автоматическое управление.

Описание системы SMARTLAB-R2

Недорогая вакуумная термическая резистивная напылительная установка SMARTLAB-R2 с двумя резистивными источниками, производимая нашей компанией, является оптимальным выбором для университетской лаборатории. Использование проверенных узлов импортных и отечественных производителей, а также узлов собственного производства – всё это является залогом надёжного функционирования напылительной установки. При проектировании вакуумной термической резистивной напылительной установки SMARTLAB-R2 нами ставилась задача создать максимально надёжную систему, которая может быть доступна университетским лабораториям при ограниченности бюджетных средств. Вакуумное напыление производится снизу вверх (подложкодержатель установлен в верхней части вакуумной камеры, резистивные источники (лодочки с испаряемым метериалом) – внизу, на дне камеры. Поставляемый в базовой комплектации блок питания, подающий ток до 100 А, позволяет проводить испарение многих материлов из молибденовых или вольфрамовых лодочек. Для получения напыленной плёнки регулируемого стехиометрического состава используется одновременное напыление с двух резистивных источников (при выборе опции: 2 блока питания). Всё оборудование находится внутри стойки управления, что позволяет легко и удобно расположить данную бюджетную вакуумную резистивную напылительную систему в любом месте лаборатории. В полностью автоматической версии управление напылительной системы происходит с помощью промышленного компьютера и сенсорного дисплея, установленного на раме. В этом случае процесс вакуумной откачки, нагрева, напыления и вентилирования камеры после окончания вакуумного напыления осуществляется после нажатия оператором одной кнопки. Рама системы установлена на колёсных опорах (колесо с установленной рядом регулируемой по высоте опорой), что позволит легко переставить данную вакуумной напылительную систему в другое место лаборатории.