SMARTLAB-M2, базовая конфигурация:

• Вакуумная камера
• размер 35х45 см
  D-форма (в горизонтальном разрезе)
  фронтальная дверь с вакуумным окном
  нержавеющая полированная сталь
  Установлена на раме из нержавеющей стали
• Магнетрон – 2 шт
• Косвенное охлаждение мишени
  Сбалансированная магнитная система
  Диаметр мишени 50 мм
  Заслонки для магнетронов
  Опция: магнетрон с диаметром мишени 75 мм
  
• Блок питания магнетрона – 2 шт

• Блок питания постоянного тока 1 кВт (распыление металлов)
  Высокочастотный генератор с ручным согласующим устройством мощностью 300 Вт (распыление металлов и диэлектриков)
  Опция: Высокочастотный генератор с автоматическим согласующим устройством 300 Вт
  Опция: Высокочастотный генератор с автоматическим согласующим устройством 600 Вт (для магнетрона с диаметром мишени 75 мм)
  Опция: один блок питания постоянного тока с переключением между двумя магнетронами
• Откачная система

• Турбомолекулярный насос
  Пластинчато-роторный насос
  Опция: спиральный насос
• Дополнительное оборудование
• Вращаемый столик диаметром 15 см, 20 об/мин
                 Опция: планетарный механизм на 3 планеты по 10 см
  Широкодиапазонный вакуумметр, 1 атм - 1х10^-9 торр
  Регулятор расхода газа, 100 ст.куб.см/мин, 2 шт
                  Опция: 3 регулятора расхода газа
  Измерение толщины напыляемого слоя с помощью кварцевого датчика (кварцевые микровесы)
  Нагрев кварцевой лампой до 200С
                 Опция: нагрев ТЭНом из нержавеющей стали (позволяет нагревать во время напыления)
• Система управления
• Кнопочная (ручное включение всех узлов)
  Опция: полуавтоматическое управление (автоматическая откачка, ручное напыление)

Описание системы SMARTLAB-M2
Недорогая вакуумная магнетронная напылительная установка SMARTLAB-M2  с двумя магнетронами, производимая нашей компанией, является оптимальным выбором для университетской лаборатории. Использование проверенных узлов импортных и отечественных производителей, а также узлов собственного производства – всё это является залогом надёжного функционирования напылительной установки. При проектировании вакуумной магнетронной напылительной установки SMARTLAB-M нами ставилась задача создать максимально надёжную систему, которая может быть доступна университетским лабораториям при ограниченности бюджетных средств. 
Вакуумное напыление производится сверху вниз (подложкодержатель установлен на дне камеры, магнетроны - сверху).
Поставляемый в базовой комплектации высокочастотный генератор с ручным согласующим устройством позволяет проводить распыление как металлов, так и деэлектриков (если необходимо распылять только металлические мишени, рекомендуем приобрести блок питания постоянного тока, так как скорость распыления в этом случае будет значительно выше).
Всё оборудование находится внутри стойки управления, что позволяет легко и удобно расположить данную бюджетную вакуумную магнетронную напылительную систему в любом месте лаборатории.
Рама системы на колёсных опорах (колесо с установленной рядом регулируемой по высоте опорой), что позволит легко переставить данную вакуумной напылительную систему в другое место лаборатории.