Тел./факс: +7 (495) 966 2814
Вакуумные напылительные установки
Оборудование для вакуумных напылительных установок
Вы здесь: Главная/ Вакуумные напылительные системы/ Лабораторная установка магнетронного напыления SMARTLAB-M

Вакуумная установка магнетронного напыления SMARTLAB-M

Напылительная система SMARTLAB-M выпускается в двух разновидностях – SMARTLAB-M1 с одним магнетроном на базе камеры размером 23х35 см и SMARTLAB-M2 с двумя магнетронами на базе камеры размером 35x45 см.

 

  • Спецификация SMARTLAB-M1
  • Спецификация SMARTLAB-M2

SMARTLAB-M1, базовая конфигурация:Вакуумная магнетронная напылительная установка SmartLab-M1 производства РОБВАК (Россия)

    • Вакуумная камера
  • размер 23х35 см
    D-форма (в горизонтальном разрезе)
    фронтальная дверь с вакуумным окном
    нержавеющая полированная сталь
    Установлена на раме из нержавеющей стали
  • • Магнетрон – 1 шт
  • Косвенное охлаждение мишени
    Сбалансированная магнитная система
    Диаметр мишени 50 мм
    Опция: магнетрон с диаметром мишени 75 мм
  • • Блок питания магнетрона – 1 шт
  • Высокочастотный генератор с ручным согласующим устройством мощностью 300 Вт (распыление металлов и диэлектриков)
    Опция: Высокочастотный генератор с автоматическим согласующим устройством 300 Вт
    Опция: Высокочастотный генератор с автоматическим согласующим устройством 600 Вт (для магнетрона с диаметром мишени 75 мм)
    Опция: Блок питания постоянного тока 1 кВт (распыление металлов)
  • • Откачная система
  • Турбомолекулярный насос
    Пластинчато-роторный насос
    Опция: спиральный насос
  • Плазма работающего магнетрона вакуумной магнетронной напылительной системы SmartLab-M1 производства РОБВАК (Россия). • Дополнительное оборудование
  • Вращаемый столик диаметром 15 см, 20 об/мин
                   Опция: планетарный механизм на 3 планеты по 7 см
    Широкодиапазонный вакуумметр, 1 атм - 1х10-9 торр
    Регулятор расхода газа, 100 ст.куб.см/мин, 2 шт
                   Опция: 3 регулятора расхода газа
    Измерение толщины напыляемого слоя с помощью кварцевого датчика (кварцевые микровесы)
    Нагрев кварцевой лампой до 200С
                   Опция: нагрев ТЭНом из нержавеющей стали (позволяет нагревать во время напыления)
  • • Система управления
  • Кнопочная (ручное включение всех узлов)
    Опция: полуавтоматическое управление (автоматическая откачка, ручное напыление)

 

Описание системы SMARTLAB-M1
Недорогая вакуумная магнетронная напылительная установка SMARTLAB-M1  с одним магнетроном, производимая нашей компанией, является оптимальным выбором для университетской лаборатории. Использование проверенных узлов импортных и отечественных производителей, а также узлов собственного производства – всё это является залогом надёжного функционирования напылительной установки. При проектировании вакуумной магнетронной напылительной установки SMARTLAB-M нами ставилась задача создать максимально надёжную систему, которая может быть доступна университетским лабораториям при ограниченности бюджетных средств.
Работа магнетронов производства РОБВАК (Россия) в вакуумной магнетронной напылительной системе.
Вакуумное напыление производится сверху вниз (подложкодержатель установлен на дне камеры, магнетроны - сверху).
Поставляемый в базовой комплектации высокочастотный генератор с ручным согласующим устройством позволяет проводить распыление как металлов, так и деэлектриков (если необходимо распылять только металлические мишени, рекомендуем приобрести блок питания постоянного тока, так как скорость распыления в этом случае будет значительно выше).
Всё оборудование находится внутри стойки управления, что позволяет легко и удобно расположить данную бюджетную вакуумную магнетронную напылительную систему в любом месте лаборатории.
Рама системы на колёсных опорах (колесо с установленной рядом регулируемой по высоте опорой), что позволит легко переставить данную вакуумной напылительную систему в другое место лаборатории.

SMARTLAB-M2, базовая конфигурация:

    • Вакуумная камера
  • размер 35х45 см
    D-форма (в горизонтальном разрезе)
    фронтальная дверь с вакуумным окном
    нержавеющая полированная сталь
    Установлена на раме из нержавеющей стали
  • • Магнетрон – 2 шт
  • Косвенное охлаждение мишени
    Сбалансированная магнитная система
    Диаметр мишени 50 мм
    Заслонки для магнетронов
    Опция: магнетрон с диаметром мишени 75 мм
  • • Блок питания магнетрона – 2 шт
  • Блок питания постоянного тока 1 кВт (распыление металлов)
    Высокочастотный генератор с ручным согласующим устройством мощностью 300 Вт (распыление металлов и диэлектриков)
    Опция: Высокочастотный генератор с автоматическим согласующим устройством 300 Вт
    Опция: Высокочастотный генератор с автоматическим согласующим устройством 600 Вт (для магнетрона с диаметром мишени 75 мм)
    Опция: один блок питания постоянного тока с переключением между двумя магнетронами
  • • Откачная система
  • Турбомолекулярный насос
    Пластинчато-роторный насос
    Опция: спиральный насос
  • • Дополнительное оборудование
  • Вращаемый столик диаметром 15 см, 20 об/мин
                   Опция: планетарный механизм на 3 планеты по 10 см
    Широкодиапазонный вакуумметр, 1 атм - 1х10-9 торр
    Регулятор расхода газа, 100 ст.куб.см/мин, 2 шт
                    Опция: 3 регулятора расхода газа
    Измерение толщины напыляемого слоя с помощью кварцевого датчика (кварцевые микровесы)
    Нагрев кварцевой лампой до 200С
                   Опция: нагрев ТЭНом из нержавеющей стали (позволяет нагревать во время напыления)
  • • Система управления
  • Кнопочная (ручное включение всех узлов)
    Опция: полуавтоматическое управление (автоматическая откачка, ручное напыление)

 

Описание системы SMARTLAB-M2
Недорогая вакуумная магнетронная напылительная установка SMARTLAB-M2  с двумя магнетронами, производимая нашей компанией, является оптимальным выбором для университетской лаборатории. Использование проверенных узлов импортных и отечественных производителей, а также узлов собственного производства – всё это является залогом надёжного функционирования напылительной установки. При проектировании вакуумной магнетронной напылительной установки SMARTLAB-M нами ставилась задача создать максимально надёжную систему, которая может быть доступна университетским лабораториям при ограниченности бюджетных средств. 
Вакуумное напыление производится сверху вниз (подложкодержатель установлен на дне камеры, магнетроны - сверху).
Поставляемый в базовой комплектации высокочастотный генератор с ручным согласующим устройством позволяет проводить распыление как металлов, так и деэлектриков (если необходимо распылять только металлические мишени, рекомендуем приобрести блок питания постоянного тока, так как скорость распыления в этом случае будет значительно выше).
Всё оборудование находится внутри стойки управления, что позволяет легко и удобно расположить данную бюджетную вакуумную магнетронную напылительную систему в любом месте лаборатории.
Рама системы на колёсных опорах (колесо с установленной рядом регулируемой по высоте опорой), что позволит легко переставить данную вакуумной напылительную систему в другое место лаборатории.